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发布时间：2022-03-25 02:26:00 作者：厦门太星机电
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
6、气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。
7、气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。
8、特气管道需与其他管道分开单独引入，氢气管道与其他管道同架铺设时间隔少0.25M，切应在其他管道上方。
9、其他标准要求则需根据实验室具体结构制定。
三、阀门介绍在选择减压阀的时候，必须考虑气体的种类，允许压力变化范围， 大气体用量和流速，管路的结构和使用场所等。a:由于各种气体的用途不同，在材料的选择上也会有些不同 如：一般惰性气体阀体和阀芯用镀铬铜（也可以选择不锈钢），乙和有腐蚀性的气体建议阀体和阀芯用不锈钢材料。b：气体纯度为5.0 6.0的非腐蚀性、惰性气体材料建议选择镀铬铜阀体，不锈钢阀芯。气体纯度为6.0腐蚀性，有毒气体材料建议选择不锈钢阀体，不锈钢阀芯；由于氧气的密度太浓，不同于其他惰性气体，在选择减压阀的时候应不同于其它气体
高纯气体系统种类：
简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。
3.大宗特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等)，100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3)，发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大，采用***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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