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发布时间：2022-03-23 03:04:00 作者：厦门太星机电
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
三、阀门介绍在选择减压阀的时候，必须考虑气体的种类，允许压力变化范围， 大气体用量和流速，管路的结构和使用场所等。a:由于各种气体的用途不同，在材料的选择上也会有些不同 如：一般惰性气体阀体和阀芯用镀铬铜（也可以选择不锈钢），乙和有腐蚀性的气体建议阀体和阀芯用不锈钢材料。b：气体纯度为5.0 6.0的非腐蚀性、惰性气体材料建议选择镀铬铜阀体，不锈钢阀芯。气体纯度为6.0腐蚀性，有毒气体材料建议选择不锈钢阀体，不锈钢阀芯；由于氧气的密度太浓，不同于其他惰性气体，在选择减压阀的时候应不同于其它气体
高纯气体系统种类：
简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。
2.系统检测
特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样大大提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪;颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米;而对要求更高的采用核凝结技术(CNC)它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。
3、辅助系统的设计
气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。
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