一体式真空机组——集成的真空解决方案

一体式真空机组集成了主泵和前级泵，适用于高真空需求的工业应用，如半导体、光伏、化工等领域。了解其技术参数、产品特点及常见问题解答，选择的真空解决方案。

本文详细介绍一体式真空机组的技术参数、产品特点、应用领域及常见问题解答，特别聚焦于其集成设计和广泛适用性，为高真空需求提供解决方案。

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一体式真空机组产品特点

集成设计：主泵与前级泵一体化设计，减少安装空间，提高系统效率好。

高真空性能：极限全压力低至0.5Pa，满足高真空需求。

节能环保：电机功率优化设计，降低能耗，符合节能环保要求。

易于维护：模块化设计，便于维护和更换部件，减少停机时间。

广泛适用性：适用于半导体、光伏、化工等高真空领域。

一体式真空机组技术参数

应用领域

半导体制造：用于高真空环境下的晶圆加工和薄膜沉积。

光伏产业：在太阳能电池板制造过程中提供稳定的真空条件。

化工行业：用于高真空蒸馏、干燥和反应工艺。

行业：在药品冻干和包装过程中提供高真空环境。

科研领域：用于实验室高真空实验和设备测试。

应用案例

应用领域：半导体制造
使用设备：JZJLGB1200-5T一体式真空机组
工艺流程：在晶圆薄膜沉积过程中，JZJLGB1200-5T提供稳定的高真空环境，确保薄膜均匀性和产品质量。

设备安装

详细说明如何正确安装一体式真空机组，包括安装位置选择、接口连接注意事项以及调试步骤，确保设备运行稳定。推荐由厂家提供安装指导。

一体式真空机组常见问题解答

1、一体式真空机组的抽气速率是多少？
答：抽气速率根据型号不同，分别为300 L/s、600 L/s和1200 L/s。

2、一体式真空机组的极限真空度是多少？
答：极限全压力为0.5Pa，适用于高真空需求。

3、一体式真空机组是否适用于高腐蚀性环境？
答：需根据具体型号和材料选择，部分型号经过特殊处理可适应高腐蚀性环境。

4、一体式真空机组的噪音水平如何？
答：采用静音设计，噪音水平低，适合对噪音敏感的环境。

5、一体式真空机组的维护是否方便？
答：模块化设计，便于维护和更换部件，减少停机时间。

6、一体式真空机组是否节能？
答：电机功率优化设计，能耗低，符合节能环保要求。

7、一体式真空机组的冷却水需求是多少？
答：冷却水压力为0.2~0.35MPa，流量为10~15L/min，温度为≤40℃。

8、一体式真空机组的气体系统参数是多少？
答：气体系统压力为0.05~0.06MPa，流量为20~40L/min。

9、一体式真空机组是否适合半导体制造？
答：是的，适用于半导体制造中的高真空工艺。

10、如何评估一体式真空机组的总拥有成本？
答：综合考虑设备价格、维护成本、能耗和使用寿命，推荐选择可靠厂家提供的产品。

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