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发布时间：2025-03-11 10:09:00 作者：厦门太星机电
在现代工业与科研领域不断追求高精度测量的浪潮中，隔膜式电容真空计 RBM350 凭借性能与广泛适用性，迅速崭露头角，成为众多性能高应用场景的装备。
隔膜电容真空计RBM350技术规范
RBM350 精度等级达 0.25 级，测量范围覆盖 133000 (Pa) 至 0.00133 (Pa) 的宽广区间，且在不同量程读数误差极低：≥133Pa 时误差仅 0.2%，≤133Pa 时误差为 0.5%，确保测量数据可靠。其电源接通后能快速稳定，暴露在大气压力下也可迅速恢复，显著减少等待时间，极大提升工作效率。长期信号稳定性出色，零漂移仅 0.005% F.S./℃，全尺度漂移为 0.04% F.S./℃，内置温度补偿功能有效降低温度对测量结果的影响。传感器设计充分考虑防护，可抵御污染，延长使用寿命、降低维护成本。操作方面，一键式零调节功能简单便捷，基于全数字键的校准方法方便用户灵活调整参数。供电范围为 + 14VDC 至 30VDC，适应多样电源环境；采用耐腐蚀陶瓷传感器，增强设备在复杂环境中的耐久性。
一家半导体制造企业在芯片生产时，曾因原有真空测量设备精度欠佳，在光刻、蚀刻等关键工艺中难以提升产品产率。引入 RBM350 后，其高精度特性助力实时监测生产过程中的真空度。晶圆光刻时，该设备快速稳定与快速恢复性能保障真空环境稳定监测，及时反馈真空变化，避免光刻胶异常曝光；在复杂化学气相沉积（CVD）环境中，耐腐蚀陶瓷传感器确保设备长期稳定运行，企业芯片产量大幅提高，生产效率显著提升，成本有效降低。
在科研领域，物理、化学、材料科学等实验中，RBM350 用于测量实验装置内部真空度，为材料制备与性能测试等提供可靠数据支持，保障实验环境纯度与稳定性。工业生产中，半导体制造的晶片生长、光刻、蚀刻、薄膜沉积等环节，RBM350 均发挥关键监测作用；真空涂层工艺里，它确保涂层质量与均匀性；真空热处理过程中，能控制真空度，满足不同材料与产品需求。医学领域，真空泵、呼吸机等设备借助 RBM350 测量和监测内部压力变化，保障设备正常运行与患者安全，如在呼吸机中实时监测气道压力。航空航天领域，航天器制造与测试时，它模拟空间环境，测量记录真空度变化，为航天器设计与改进提供数据支撑。
对于常见问题，RBM350 采用基于全数字密钥的校准方法，操作简便；温度补偿功能使其测量精度受温度影响小；特殊设计可防止传感器污染；暴露于大气压力后能快速恢复测量；在 + 14VDC 至 30VDC 电源电压范围内性能稳定；输出电压与真空压力呈线性关系，便于直观判断压力、提升工作效率与精度；在设备中使用需确保安装牢固、电气连接正确、防电磁干扰并定期校准维护；可依据实际真空度要求选择测量范围；其小巧轻便的尺寸（约为 60×60×120mm，重量≤300g），便于安装在各类设备中。
随着各行业对高精度测量需求的持续增长，隔膜电容真空计 RBM350 有望在更多领域展现价值，推动产业升级与科研进步。
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