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发布时间:2022-09-07 14:42:00 作者:厦门太星机电
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通常扩散泵的性能是以极限真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。
1.极限真空
如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa,起始压力正好是机械泵的极限压力,因此,油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵,将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。
2.大反压强
大反压强是指扩散泵所允许的前置压强大值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强,则扩散泵就不能正常工作。
3.抽气速率
扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。
4.设置冷阱及低温挡板的原因
扩散泵系统的压强不稳定的原因,有内部和外部之分。泵外的原因有:①来自橡胶垫圈的气泡;②从障板上滴落下的泵油;③高的前级耐压;④阱除霜;⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有:①泵油爆沸或沸腾不稳定;②在导流管外部油的沸腾;③轻气体的低压缩比;④喷咀内的液滴;⑤顶喷咀变冷(蒸汽冷凝);⑥锅炉附近泄漏,泵体要检漏。
锅炉内泵油的不稳定沸腾,会使喷出的蒸汽射流的密度波动,从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热,使之有一段爆沸的时间,其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉,增加内表面积,降低热流密度,增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中,强力的爆沸,会引起自爆升腾,对喷咀,引起瞬间堵塞,造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响,因对轻气体压缩比低,可引起压力的不稳定,增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器,可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续,导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降,不使其过冷。来自橡胶密封的气泡,有时油捕集气体,通过密封胶圈渗透放出,因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出,可使不稳定减少,若用金属垫圈就更好了。设计良好的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时,操作不当,扩散泵系统有发生的危险。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范,定期检查泵油的质和量。
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