泉州半导体真空泵维修承诺守信「厦门太星机电」

厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。

扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为保证真空镀膜机的正常稳定运行，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养就显得尤为重要。今天成越科仪就给大家分享一下真空镀膜机扩散泵维修与保养知识。

扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。

被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。

扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大大降低。

现代的油扩散泵在泵入口处，泵油的返流已降至大约室温下泵油蒸发速率的水平。

只有在使用时遵守一定的操作规程，才能保证系统的正常工作。前已详细叙述过有关机械泵、扩散泵的操作规程。经人们生产实践，对排气系统，也同样总结出来一套操作规程。以高真空排气系统为例（其他真空设备可仿照施行），其操作规程如下：①检查真空系统各部分，熟悉系统的气路结构，了解真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接。②关闭放气阀门，启动机械泵，对系统进行抽气，并随时用火花检漏器对系统各部分进行检漏。如系全金属系统，则可关闭阀门，用真空计读数记下P-t曲线（作静态升压试验）。如压强随时间呈直线上升，可断定系统有漏气源，应进行检漏。③当系统真空度达到油扩散泵的前置压强（5×10-2托）后，启动扩散泵，使加热电流逐渐升到额定（佳）值。在启动扩散泵前，必须先开冷却水。④扩散泵正常工作后，用火花检漏器（或热偶计）判断量测系统的真空度。到10-3托以上（热偶计近满偏或95格以上）才能使用电离真空计。使用时先对规管除气，后测量真空度。

扩散泵维修保养对系统进行烘烤去气处理。对玻璃系统而言，硬玻璃烘烤温度为400℃～450℃ ，软玻璃为350℃～400℃ 。去气时间视具体要求而定，一般1～2小时。去气完后，真空度仍达不到要求，应使用电离计记P-t曲线，以判断是否漏气。亦可用、酒精等涂抹处，看表针的摆动以发现漏孔。若为去气不良，应进一步烘烤，加长时间去气。新系统一般要抽较长时间才能达到预期的真空度。真空度老上不去，则要考虑系统设计、安装是否合理，有无死空间，放气源多否，维修时是否带进了脏物，被抽容器是否清洁等其他因素。