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发布时间：2022-04-24 04:09:00 作者：厦门太星机电
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。。
高纯气体分类：
高纯气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。
高纯气体系统及输送流程：
高纯气体输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点
气体储运要求
保证气体在存储、运输、使用过程中不会被二次污染，对气瓶内部、内壁表面的处理涉及多项工艺，均依赖于长期的行业探索和研发;此外，对于某些具有高毒性或危险性的气体，需要使用负压气瓶储运，以减少危险气体泄露风险。
厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。
高纯气体系统种类：
简单供气系统
简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。
3.大宗特气供气系统
大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等)，100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3)，发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大，采用***的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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